Bei der kapazitativen Feuchtemessung mit HF-Sensoren erfasst ein hochfrequentes Wechselfeld ein Volumen um zwei bzw. drei Elektroden. Daraus lässt sich die material- und insbesondere die feuchteabhängige Kapazität des Baustoffes ermitteln.
Diese Methode ist ein Sonderfall der FDR (Frequency-Domain-Reflectometry – Frequenzbereichsmessung/nicht zu verwechseln mit einer Widerstands-Messung). Diese verwendet in der Regel eine einzige Frequenz im Bereich zwischen etwa 100 kHz und 10 MHz.